以《溅射技术在高精度力学传感器上的应用》为主题的技术研讨会于3月14日在东南大学中心楼召开。此次研讨会由东南大学机器人传感与控制技术研究所、中国仪器仪表学会力触觉感知与交互专业委员会与IEEE机器人与自动化学会南京分会主办，联公精密测量技术（合肥）有限公司协办。此次技术研讨会旨在为校企合作，协同创新，实现科技仪器设备的自主可控搭建平台。

为深入贯彻落实我国加强基础研究，实现高水平科技自立自强，建设世界科技强国的方针，贯彻打好科技仪器设备、操作系统和基础软件国产化攻坚战，鼓励科研机构、东南大学与企业开展联合攻关，提升国产化替代水平和应用规模。在研讨会上，联公精密测量有限公司的首席科学家，马蒂亚斯与联公精密测量联合创始人陈方先生首先介绍了当前德国同行在力学传感器制造领域相对成熟的技术，东南大学首席教授宋爱国随后介绍了团队在力反馈应用技术当中所作出的进展。中国航天科技44所与江苏省计量院的专家们也在会上与各方展开了充分讨论。

从左到右分别为联公精密测量联合创始人、首席技术官陈方，实验室首席科学家马蒂亚斯，东南大学仪器科学与工程学院宋爱国教授

据2022年国金证券的一份调研报告指出，中国科学仪器市场的国产化率只有5%。而现在更加火热的半导体设备的国产化率是18%。科学仪器属于国产替代难度系数最高的领域之一，业内普遍认为需要5-10年的攻克时间，而科学仪器的高端市场更是完全被外资品牌垄断，形势非常严峻，而其“卡脖子“的难点在于仪器核心的传感器以及配合高端传感器的经验算法。东南大学与联公精密测量有限公司未来会携手将一种新型的溅射技术引用到力学传感器的制造工艺当中，此项尝试可以非常有效地降低传感器使用的环境要求，对高低温，真空高压，高辐射，潮湿腐蚀等恶劣环境，针对当前的航天领域，半导体制造领域有着至关重要的作用，可以有效的避免核心零部件频繁替换所带来的不利影响。同时，联公还即将突破高精度实验室称重仪器的完全国产化。2022年，高精度实验室称重仪器在中国的市场大约有2亿欧元，一直完全由外资企业所垄断，这项技术的国产化可以为我国的现代化生产安全提供设备安全的基石。

据不完全统计，从2020年开始，在中国工业市场，国产替代的旺盛已逐渐体现，而企业与高校同心协力，发挥各自的优势，可早日实现用我国自主的研究平台、仪器设备来解决重大基础研究问题的需求。

2023-3-17【新华社】

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